광고
광고
광고
광고
로고

한국, 초소형 전자빔 기술의 메카로!

선문대 차세대반도체연구소 주최로 국제포럼 열려

아산톱뉴스 | 기사입력 2010/07/23 [21:04]

한국, 초소형 전자빔 기술의 메카로!

선문대 차세대반도체연구소 주최로 국제포럼 열려

아산톱뉴스 | 입력 : 2010/07/23 [21:04]

▲ 한-E포럼 국제회의 참석자들.     © 아산톱뉴스

선문대학교 차세대반도체연구소(소장 김호섭)가 주관하는 2010년 한국과 유럽연합(EU)간의 국제포럼이 서울 밀레니움 힐튼호텔에서 21일부터 시작해 23일까지 진행됐다.

이번 포럼에는 독일, 영국, 네덜란드, 미국, 한국 등 국내외 나노패턴 및 계측기술 전문가 100여 명이 참여했다.

한국-EU 국제포럼에는 독일 튜빙겐 대학 디터 컨 교수 (Prof. Dr. Deiter Kern, Tubingen University, Germany), 영국 캠브리지대학 데이비드 하스코 박사(Dr. David Hasko, UK), 네덜란드 텔프트 대학 크리스틴 조네빌( A,.C, Zynnevylle, Delft U. of Tech, Netherlands), 미국에서는 초소형 전자컬럼의 발명자인 필립 창박사 (Dr, Philip Chang, IBM, USA), 시게이트의 킴리 박사(Dr. Kim Lee. Seagate Technologies, USA), 마리안 만코스 박사(Dr. Marian Mankos, Electronoptica Co, USA) 등의 국외 전자빔기술의 전문가들이 초청됐다.

▲ 동부하이텍 박용인 사장.     © 아산톱뉴스

국내에서는 동부하이텍 박용인 사장, 선문대학교 김호섭 교수, 삼성전자 이병호 수석, 김병국 수석, 하이닉스반도체 배근호차장 등이 초청돼 한국과 유럽, 미국의 저에너지 전자빔기술의 최신교류, 국제 협력 등에 대한 논의가 진행됐다.

이번 포럼은 저에너지 초소형 전자빔 기술 분야를 세부주제로 선정해 국내의 연구 현황 등을 비교 논의했으며, 이러한 국내에서 구축한 연구를 중심으로 해외의 기술과 연결하자는 의견 등이 제시됐다.

초소형전자빔기술은 나노분야에서 추구하는 전자빔 기술(전자현미경 및 전자빔 리소그라피의 핵심기술)로서 세계적으로 연구가 진행되는 멀티전자빔기술을 대표하는 기술이다. 국내의 초소형전자칼럼 기술은 이 분야 기술을 선도하고 있는 실정임에도 불구하고 국내에서는 주의를 받고 있지 않는 첨단기술분야다.

삼성과 하이닉스의 초청연사들은 나노반도체 생산이 증가함에 따라 저에너지 전자빔기술을 이용한 나노계측과 검사 기술 수요가 증가하고 있는 상황으로 국가적인 관심과 지원이 시급한 분야라고 강조하고 있다.

▲ 김호섭 선문대학교 차세대반도체연구소장.     © 아산톱뉴스

반도체 산업의 공정장비 국산화률은 30%로, 나노 크기의 미세 구조와 그 결함을 측정하는 나노계측 장비의 수요가 크게 증가하고 있다.

나노 크기의 미세 구조와 결함을 측정하기 위해서는 광학, 전자빔, X 선, 탐침 등을 이용한 최고 수준의 나노계측기술이 사용된다. 하지만 우리나라는 반도체 소자제작 분야에서 세계 최고 수준이지만 대부분의 첨단 장비 및 나노계측기술은 해외 기술에 의존하고 있는 형편이다.

초소형 전자컬럼의 발명자인 필립 창 박사는 “한국에서 이 분야의 진행된 결과와 성과는 매우 훌륭하다”고 말한 뒤 국내 대학, 연구소 및 기업에서 점차적으로 관심을 갖고 참여하는 것에 놀라음을 표시했다.

포럼을 주관한 선문대 김호섭(50·차세대반도체연구소장) 교수는 “세계적으로 멀티빔 기술이 증가하는 시점이고, 한국이 현재 기술우위에 있는 초소형 전자컬럼 기술의 메카로 만들 수 있다”고 강한 의지를 보였다.

이러한 준비는 국내의 산학연 전문가들이 지난 2년 전부터 진행되고 있으며, 국가적으로 관심과 지원이 있으면 충분히 가능할 것이라는 것이 참석한 국내외 전문가의 공동의견이다.

원본 기사 보기:asantopnews.com
  • 도배방지 이미지

초소형전자빔 관련기사목록
광고
광고
광고
PHOTO
1/193
경제 많이 본 기사